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鋁钕靶材

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随着全世界平面顯示器需求不斷成長的趨勢下,國内的TFT-LCD平面顯示器産業經過過去幾年之努力,已有不錯之成績;基本上,平面顯示器在生産過程中有許多薄膜制程,相對的,相關濺鍍靶材之需求也将随之成長。

國内近2年來,國外液晶顯示器企業陸續在内投資最新TFT-LCD/LCM(8代以上)生産線.對玻璃基闆電極層的鍍膜靶材要求越來越高,由開始AL-SI-CU合金靶材.到現在替代産品為钼鋁钼合金靶材(钼铌-鋁钕-钼铌).其核心為鋁钕合金(Al-Nd)靶材,在鋁闆中摻加合适的钕(Nd)金屬,第一,可以起到好的抗腐蝕性;第二,較低的電阻率,第三,顯示屏不會發黃.第四,在後段熱處理時不會起凹凸物,從而減少鍍膜工序.

結合以上特點,鋁钕合金靶材是電極層濺鍍的最佳選擇.稀土钕具有工業味精的作用,加入含量不到2%,但對材料的性能提升很大。另外在鋁中加入微量钕,成本并不是很高。钕是16種稀土金屬中最常見,比較便宜的稀土金屬,2010年前,價格穩定在200-400元/kg.(近期稀土金屬猛漲,Nd價格漲至1500元/kg,等市穩定,钕價應該會回歸一些)。當然業内最近幾年有行業人士研究,如在鋁中摻加铼(Re)、钽(Ta)、钪(Sc)等金屬。但是,相比之下,铼(Re)、钽(Ta)這些金屬的熔點都比鋁高很多,真空熔煉合金靶材最擔心就是合金不充分,偏析,铼(Re)和钽(Ta)金屬同鋁不易合金化,控制合金成均勻比較難,故不好使用;用钪(Sc)去做合金,雖然效果比钕(Nd)好,但是成本非常高。而钕(Nd)金屬的熔點就接近鋁(Al)金屬,做出的靶材純度高,而且均勻;濺鍍的電極層薄膜可以達到最佳效果。钕(Nd)成本相對上述三種金屬便宜的多,是一種物美價廉的合金靶材添加劑。


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