2019年马会全年资料歡迎您的到來!

钼铌靶材

聯系我們

2019年马会全年资料

聯系人:宋海濤

手機:18678200191

電話:0533-5435389

網址:www.qhyoyo.com

地址:山東省淄博市文昌湖區商家鎮楊家村西首


鋁钕靶材安裝介紹

您的當前位置: 首 頁 >> 新聞中心 >> 行業新聞

鋁钕靶材安裝介紹

發布日期:2018-10-15 作者: 點擊:

    靶材安裝過程中最重要的注意事項是一定要确保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴重或背闆翹曲嚴重會造成靶材安裝時發生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導緻在濺射過程中熱量無法散發最終會造成靶材開裂或脫靶


    為确保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。(圖1)請注意一定要仔細檢查和明确所使用濺射槍冷卻壁的平整度,同時确保O型密封圈始終在位置上。(圖2)

鋁钕靶材.png

鋁钕靶材.png

    由于所使用冷卻水的潔淨程度和設備運行過程中可能會産生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽内,所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理,确保冷卻水循環的順暢和進出水口不會被堵塞。(圖3)

鋁钕靶材.png

    有些陰極設計是與陽極的空隙較小,所以在安裝靶材時需要确保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導體,否則會産生短路。(圖4)

鋁钕靶材.png

    請參考設備商操作手冊中關于如何正确安裝靶材的相關信息。如果用戶使用手冊中沒有此相關信息,請嘗試按照高展金屬提供的相關建議進行安裝。在收緊靶材夾具時,請先用手轉緊一顆镙栓,再用手轉緊對角線上的另外一顆镙栓,如此重複直到安裝上所有镙栓後,再用工具收緊 。


    【鋁钕靶材短路及密封性檢查】


    靶材完成安裝後需要對整個陰極進行短路檢查及密封性檢查,


    建議通過使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進


    行判斷。在确定陰極不存在短路後,可以進行檢漏檢查,将水通入陰極确定是否存在漏水現象。


    【鋁钕靶材預濺射】


    靶材預濺射建議采用純氩氣進行濺射,可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預濺射時建議慢慢加大濺射功率,陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預濺射速度可以比陶瓷靶材塊,一個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。


本文網址:http://www.qhyoyo.com/news/382.html

相關标簽:

最近浏覽:

相關産品:

相關新聞:

歡迎給我們留言
請在此輸入留言内容,我們會盡快與您聯系。
姓名
聯系人
電話
座機/手機号碼
郵箱
郵箱
地址
地址